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量產(chǎn)型波前測(cè)量?jī)x WaveMaster® PRO2

量產(chǎn)型波前測(cè)量?jī)x WaveMaster? PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量大批量檢測(cè)需求而研發(fā)的兩款儀器?？勺孕性O(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)判定合格和不合格。WaveMaster? PRO 2和WaveMaster? PRO 2 Wafer配備托盤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)小鏡片的大批量檢測(cè)。WaveMaster? PRO 2 Wafer則可以對(duì)晶圓級(jí)鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測(cè)。
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Product Details

量產(chǎn)型波前測(cè)量?jī)x WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量大批量檢測(cè)需求而研發(fā)的兩款儀器。可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)判定合格和不合格。

WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配備托盤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)小鏡片的大批量檢測(cè)。WaveMaster® PRO 2 Wafer則可以對(duì)晶圓級(jí)鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測(cè)。

 

產(chǎn)品型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號(hào)

WaveMaster® PRO 2

WaveMaster® PRO 2 Wafer
應(yīng)用范圍

批量測(cè)量單個(gè)小鏡片的波前質(zhì)量

批量測(cè)量晶圓級(jí)鏡片的波前質(zhì)量
測(cè)量模式 透射式 透射式
空間分辨率 138×138 138×138
測(cè)量精度 <λ/20 (RMS) <λ/20 (RMS)
測(cè)量重復(fù)性 <λ/200 (RMS) <λ/200 (RMS)
動(dòng)態(tài)范圍 2000λ 2000λ
測(cè)量頻率 12Hz 12Hz
測(cè)量時(shí)間 <3秒/顆 <3秒/顆
樣品口徑 0.5mm...14mm 0.5mm...14mm
樣品焦距 -12mm...50mm -12mm...50mm
光源波長(zhǎng) 532nm 532nm
樣品夾持器

托盤式，自動(dòng)定位多孔位（最多100個(gè)）

 托盤式，自動(dòng)定位晶圓托盤（4″/6″/8″）自動(dòng)判定晶圓方向
每個(gè)托盤的鏡頭 最多148顆① ———
鏡頭托盤更換時(shí)間 10s 10s
晶圓托盤更換時(shí)間，包括校準(zhǔn) ＜2min ＜2min
新鏡頭設(shè)計(jì)的設(shè)置時(shí)間 ＜5min ＜5min

產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER