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Coherent AZURE NX 深紫外光激光器

緊湊型下一代固態(tài)激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續(xù)波,采用易于集成到半導體行業(yè)的工業(yè)環(huán)境的設計。 

Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩(wěn)定功能。 它通過 LAN 或 web GUI 進行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性,適用于要求嚴苛的應用。
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Product Details

緊湊型下一代固態(tài)激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續(xù)波,采用易于集成到半導體行業(yè)的工業(yè)環(huán)境的設計。 

 

Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩(wěn)定功能。 它通過 LAN 或 web GUI 進行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性,適用于要求嚴苛的應用。 

 

型號名稱 輸出功率 (W)  線寬 (kHz) 指向(主動穩(wěn)定型)(urad) M2

RMS 噪聲 (%) 

(10 Hz 至 500 MHz)

Azure NX 266-1000  1 < 500  20  < 1.3  < 0.5 

 

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