緊湊型下一代固態(tài)激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續(xù)波，采用易于集成到半導體行業(yè)的工業(yè)環(huán)境的設計。 

Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩(wěn)定功能。 它通過 LAN 或 web GUI 進行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴苛的應用。