µPhase® UNIVERSAL 100 臥式干涉儀
*用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)
*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)
*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm
*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)
*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm
Product Details
產(chǎn)品特點(diǎn)
*用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)
*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)
*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm
*平面測(cè)量范圍:最大98mm
*半徑測(cè)量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺
*球面測(cè)量范圍:凹面曲率半徑最大-3000mm(提供相應(yīng)導(dǎo)軌)
*與市場(chǎng)上通用的4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容
*可選CGH,用于測(cè)量非球面、柱面、輪胎面等。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) |
µPhase® UNIVERSAL 100 |
用途 | 研發(fā) |
被測(cè)樣品類型 | 平面、球面、環(huán)曲面、非球面、柱面 |
被測(cè)樣品尺寸(測(cè)量范圍) | 最大Ф150mm、樣品大小取決于類型和測(cè)試鏡頭 |
被測(cè)樣品最大重量 | 1.5kg |
校準(zhǔn)工具 | 手動(dòng)傾斜臺(tái),手動(dòng)XY工作臺(tái),手動(dòng)Z軸 |
半徑測(cè)量范圍 | 根據(jù)測(cè)試目標(biāo)和半徑測(cè)量軌道的長(zhǎng)度,最長(zhǎng)可達(dá)2m,集成半徑測(cè)量單元,特別是很長(zhǎng)的半徑測(cè)量 |
半徑測(cè)量精度 | 30um |
尺寸(高*寬*深) | 500mm*2500mm*400mm(寬度取決于軌道的長(zhǎng)度) |
重量 | 30kg(取決于配置) |
類型 | 臺(tái)式設(shè)備 |
可選項(xiàng) | 可選CGH,用于測(cè)量非球面,柱面或曲面,可選附加功能,例如多個(gè)口徑, Waver、刀具偏置、透射法測(cè)量 |
產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER