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µPhase® UNIVERSAL 100 臥式干涉儀

*用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)

*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)

*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm
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Product Details

產(chǎn)品特點(diǎn)


*用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)

*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)

*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm

*平面測(cè)量范圍:最大98mm

*半徑測(cè)量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺

*球面測(cè)量范圍:凹面曲率半徑最大-3000mm(提供相應(yīng)導(dǎo)軌)

*與市場(chǎng)上通用的4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容

*可選CGH,用于測(cè)量非球面、柱面、輪胎面等。

 

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品型號(hào)

µPhase® UNIVERSAL 100  

用途 研發(fā)
被測(cè)樣品類型 平面、球面、環(huán)曲面、非球面、柱面
被測(cè)樣品尺寸(測(cè)量范圍) 最大Ф150mm、樣品大小取決于類型和測(cè)試鏡頭
被測(cè)樣品最大重量 1.5kg
校準(zhǔn)工具 手動(dòng)傾斜臺(tái),手動(dòng)XY工作臺(tái),手動(dòng)Z軸
半徑測(cè)量范圍 根據(jù)測(cè)試目標(biāo)和半徑測(cè)量軌道的長(zhǎng)度,最長(zhǎng)可達(dá)2m,集成半徑測(cè)量單元,特別是很長(zhǎng)的半徑測(cè)量
半徑測(cè)量精度 30um
尺寸(高*寬*深) 500mm*2500mm*400mm(寬度取決于軌道的長(zhǎng)度) 
重量 30kg(取決于配置) 
類型 臺(tái)式設(shè)備
可選項(xiàng) 可選CGH,用于測(cè)量非球面,柱面或曲面,可選附加功能,例如多個(gè)口徑, Waver、刀具偏置、透射法測(cè)量

 

產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER