高精度非接觸式光學(xué)測(cè)厚儀 LensThick非接觸式光學(xué)測(cè)厚儀
Product Details
LensThick非接觸式光學(xué)測(cè)厚儀利用光的獨(dú)特性質(zhì)測(cè)量厚度，其測(cè)量原理為：測(cè)量激光照射到被測(cè)試材料上，經(jīng)過每個(gè)表面反射后被收集，然后在光學(xué)干涉儀上進(jìn)行分析，光學(xué)干涉儀是一種高精度的“光學(xué)尺”，它測(cè)量每個(gè)反射信號(hào)的長(zhǎng)度差，以確定每一層的厚度和總厚度。
產(chǎn)品特點(diǎn)
*非接觸式測(cè)量，不會(huì)造成元件表面損壞或變形
*用于高精度定位測(cè)量位置的可見光束
*可同時(shí)測(cè)量31層壁厚
*精度可達(dá)±0.1微米
*測(cè)量重復(fù)性達(dá)±0.02微米
*基于內(nèi)部固有長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)時(shí)顯示測(cè)量數(shù)據(jù)
*測(cè)量結(jié)果可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)
*測(cè)量物理厚度可達(dá)12微米（折射率1.5時(shí)）
*集成裝置，操作簡(jiǎn)便，更無需專用PC
產(chǎn)品型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)
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規(guī)格參數(shù) |
LensThick 系列 |
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型號(hào) |
12-1 UP |
12-1 |
40-1 UP |
40-1 |
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厚度測(cè)量 |
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方法 |
非接觸式光學(xué)干涉法 |
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光學(xué)厚度上限 （折射率為1的空氣間隔） |
12 mm |
40 mm |
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物理厚度上限 （折射率為1.5的材料） |
8 mm |
26 mm |
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物理厚度下限 （折射率為1.5的材料） |
16 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） |
35 μm |
20 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） |
35 μm |
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精度 1,2 |
±0.1 μm |
±1 μm |
±0.1 μm |
±1 μm |
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重復(fù)性 3,4 |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
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可溯源 |
NIM認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) |
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單位 |
mm、μm |
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測(cè)量頻率 |
20 Hz |
7 Hz |
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儀器接口 |
USB2.0及以上接口 |
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電腦配置 |
Windows 7/8/10,1GB內(nèi)存，USB2.0以上接口，顯示器，鼠標(biāo) |
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環(huán)境 5 |
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熱機(jī)時(shí)間 |
無 |
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溫度 |
15℃到30℃（存儲(chǔ)-10℃到+70℃） |
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壓力 |
500 — 900 mm Hg |
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濕度 |
在+40℃時(shí)≤90% R.H.（無冷凝） |
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尺寸和重量 |
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尺寸 |
570mm×700mm×590mm（長(zhǎng)×寬×高） |
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重量 |
20㎏ |
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功率 |
90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA最大 |
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質(zhì)保期 |
1年 |
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